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反应磁控溅射镀膜设备采购结果公告 |
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反应磁控溅射镀膜设备采购结果公告 |
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标讯详细信息 |
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公告名称： |
反应磁控溅射镀膜设备采购结果公告 |
| 所属地区： |
广东 |
发布时间： |
2025-12-14 |
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详细内容： |
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申购单主题：
反应磁控溅射镀膜设备（二次竞价）
申购单位############，还必须符合法律、行政法规规定与本项目相关的其他资格条件，由投标供应商出具满足资格响应的相关承诺函。*、投标供应商的报价响应除满足项目需求表列出的需求之外，同时响应满足国家法律法规规定的与本项目相关的强制要求。
设备名称
品牌
型号
数量
报价类型
反应磁控溅射镀膜设备
不指定品牌
不指定型号
*
国内含税价/人民币
售后服务
详见《项目需求表》
规格
*、真空系统：系统的极限压强≤*x**-* Pa，真空抽速（洁净腔体），从大气抽到****-* Pa的时间≤**分钟。 *、靶枪模块：靶枪模块至少含*只溅射阴极，同时带自动挡板设置，根据工艺需求独立控制开启，靶枪采用水冷，磁路模块需要可更换。 *、气体控制：至少支持*路工作气体，气体质量流量计控制精度应优于±*%。
中标供应商
单价
初选理由
单位名称：********************
负责人：********************
联系方式：********************
联系地址：******************** 邮政编码：****** |
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